真空测量

真空测量...



真空测量

气体的稀薄程度也可以用气体分子密度（单位容积中气体分子数）n来描述。对于完全平衡态的理想气体分子,P=nkT,k为玻耳兹曼常数,T为绝对温度。测量真空度的装置称为真空计，真空计的压强敏感元件称为规头。某些真空计可直接测量气体总压强，某些真空计虽然也给出压强读数，而实际测量的是气体分子密度，测量结果与环境温度有关。当容器中同时存在多种气体成分时，容器中气体总压强等于各气体分压强之和。总压强测量方法可分为直接法和间接法两种。直接法利用液柱差、机械变形等原理直接测量压强，包括液位压强计、压缩式真空计、弹性元件真空计等。根据前两种仪器测出的物理量可算出压强值，属于绝对真空计。间接法利用气体某些物理性质（如热传导、粘滞性、电离及光散射效应等）来测量压强，包括热传导真空计、粘滞真空计及电离真空计等。在真空技术中使用的真空计绝大多数采用间接法，这些真空计必须用绝对真空计或其他方法校准。对于用间接法测量的真空计，由于不同种类气体的物理性质不同，即使在相同压强下，压强读数也随气体而异，因此要用相应的气体来校准。当被测气体不是单一成分时，这些真空计的读数的含义较为复杂。由于一般真空计校准时所采用的气体是纯氮，因此这些真空计的读数在未经气体种类修正之前统称为等效氮压强。当被测空间包含多种气体成分时，只有通过分压强测量才能精确地反映容器中的真空状态和总压强

常见的真空计

热传导真空计



利用气体在不同压强下热传导能力随之变化的原理测量气体压强。在这类真空计中，以一定加热电流通过装有热丝的规头，热丝的温度决定于加热和散热之间的平衡。散热能力是气体压强的函数，故热丝的温度随压强而变化。如用一附加的热偶测量热丝的温度，则这种规头称为热偶规；如利用热丝本身的电阻值来反映温度，则称电阻规或皮喇尼规。气体热传导只在低压强 (P

    关注 PVD镀膜