石墨舟清洗技巧
☆弘竣石墨舟特点及清洗技巧...
石墨舟的清洗
我司PECVD石墨舟 特点如下：
1.采用了消除“彩片”的生产技术，长期工艺生产中降低“彩片”。
2.陶瓷组装件采用99.9%陶瓷，抗腐蚀性能强，不易爆裂。
3.采用了精密加工设备，聘请了高级技术人员，保证了每个配件的精度。
4.能完全匹配CT、捷佳伟创、大族、赛瑞达、七星华创等厂家的炉子。
5.采用德国西格里进口高纯石墨材料制作，杂质含量低，强度高。
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例如能将石墨舟改造为两头带电极孔，这样在进入炉管时，可以不分方向，方便客户的操作。
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新舟的接收：
打开包装前须检查外包装是否完好、石墨舟是否完整；外观、舟片及陶瓷组件是否有裂纹或断裂；组件有无缺失。发现外包装变形或损失以及上述问题的产品应及时联系供应商。
舟的清洗 ：
1.新舟在第一次使用前建议使用去离子水+氢氟酸（体积比10%）溶液进行清洗约3-5小时；再用去离子水进行漂洗8-12小时；直到确认舟体没有酸性成分。可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟，以确认清洗结果。然后按照要求进行烘干。
2.使用后的石墨舟的清洗：上海弘竣的石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。建议使用浓度15-25%的氢氟酸溶液，分三个轮次来清洗，每次4-5小时；并在浸泡清洗过程中进行周期性氮气鼓泡，加半小时左右的冲洗；注意：鼓泡不建议直接使用空气作为气源。酸洗后用纯水漂洗10小时左右，并确认舟体已经彻底清洗干净。请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点与舟片结合处、以及其他部位是否还有氮化硅的残存。然后按照要求进行烘干。
清洗注意事项：
★由于氢氟酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性，对操作人员有一定的危险性。因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护，并进行专人管理。
★建议在清洗时将舟拆开只对石墨部件进行清洗，这样能将各个接触部位清洗得更彻底。目前国内很多厂家采用整体清洗，虽然方便，但由于氢氟酸对陶瓷组件有一定的腐蚀性，整体清洗会缩短相应组件的使用寿命。
舟的烘干 ：
1. 建议使用有定时功能和循环排风的烘箱，这样烘烤的水蒸汽可直接被抽调，以避免水蒸汽因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘干。
2.清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间，确保舟表面没有水滴或水痕，再放进烘箱，请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘箱。
3.将烘箱温度设定在100-120摄氏度，运行和保持10-12小时，可结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。
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