石墨舟镀膜后硅片会变色？

弘竣售后服务团队教你如何解决...

PE镀膜后四周发白浅析

近期经常接到客户咨询，石墨舟镀膜后发现膜后的片子四周发白或四周发红。并且如果是新舟直接用就没有这个问题，用了第一个循环后，清洗后就会发现这个问题。

这次就问题发生的原因做一个说明，并且给大家一些解决方法。

附下图颜色与膜厚的关系

一般来说我们机台出现问题基本上为三类，偏红，正常蓝，偏白（对应表中的淡蓝色，无明确的白色膜厚，此时的白色部分膜厚接近90左右）

硅片在PECVD工序之前是常规的灰白色，通过一定的化学反应在片子表面生成一层膜。片子工艺结束后，就会得到我们需要的工艺颜色。

客户所说的四周发白，可以理解成膜厚偏厚，假如建一个基准以77-83为正常膜厚，小于77很多可以理解成红片，大于83很多可以理解成偏白。上面说了片子是通过一定的化学反应生长出来的，现在客户反应的是偏白，就代表膜长的厚。厚的生长速度一般同温度和高频的功率有关。

分析可能原因：

一、温度过高或工艺时间太长

二、高频功率助长了膜的生长

三、前面提到有些客户反应，新舟直接上去使用没有问题清洗后容易出现。因为清洗后我们需要给舟做饱和也就是行业里说的空镀，所以一个好的镀舟工艺非常的重要。

正常的镀舟可以满足工艺正常生产需要，镀舟不足会造成生产时工艺的化学反应被石舟吸收造成硅片镀膜不良，形成四周红片。假如镀舟过度，“吃的太饱”就容易造成硅片的四周发白。

因为我们的舟片是镂空的，硅片的四周是同舟片相接触的，从而造成四周的生长速率加快，形成片子四周发白（偏白）此点建议从镀舟工艺上调整。

四、如果正常生产到一定次数偏白请及时调整工艺。红片加时间，白片减时间。

五、其它原因：具体情况待交流分析

上海弘竣售后服务团队

二〇一七年一月十七日

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